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Piezoconcept 是一家在高精度运动控制技术领域深耕的企业,其核心研发方向聚焦于压电陶瓷驱动的纳米定位系统。凭借多年技术沉淀与创新,Piezoconcept 在纳米定位领域树立起技术、品质可靠的品牌形象,产品广泛适用于对定位精度要求严苛,需实现微米至纳米级精准定位的各类场景,如科研、半导体制造、光学精密检测等行业。
CZ.100 纳米定位器属于 Piezoconcept 单轴系统位移平台系列。在该系列中,它作为独立的单轴定位单元,具备精准的独立位移控制能力,可根据复杂的实际应用需求,灵活与其他轴定位器组合,构建成多轴定位系统,以满足不同场景下多样化的定位要求。
CZ.100 纳米定位器提供 100μm 与 200μm 两种位移行程规格。在一些对定位距离要求相对较小的场景,如小型光学元件的微调整,100μm 行程能满足其在有限空间内精准定位需求;而当面对如半导体芯片制造中,可能涉及到更大范围的晶圆表面不同区域操作时,200μm 的行程则可覆盖更广阔的定位范围。其定位动作沿单轴方向完成,这种单轴设计使得在特定方向上的位移控制更为纯粹,避免多轴干扰,保障在该方向上定位的准确性与稳定性。
该产品分辨率达 0.1nm,这意味着它能够实现极其精细的位置调整。在生物医学研究领域,对细胞内微小结构进行观测时,需要定位器能精准移动极短距离以获取不同角度、位置的图像,0.1nm 分辨率可确保显微镜载物台带动样本进行精确位移,呈现细胞内细胞器等微小结构的清晰图像。同时,噪声水平为 0.01nm,依托压电陶瓷驱动技术实现亚纳米级定位精度与低噪声运行状态。低噪声保证了在定位过程中不会因外界干扰信号影响定位准确性,保障定位过程的稳定性,即使在长时间、高精度要求的实验或生产操作中,也能持续维持定位精度,避免因噪声积累导致定位偏差。
产品采用压电陶瓷驱动方式,压电陶瓷在电压作用下会产生精确且可控制的微小形变,进而转化为定位器的位移输出。这种驱动方式响应速度快,能够快速实现定位动作,满足对实时性要求高的应用场景。它可匹配品牌配套控制器,支持电压控制等控制方式。控制器前面板上的模拟输入接口允许通过电压控制平台位置,支持多种电压范围,如 0 - 10V 等。控制器内置低噪声高线性电子元件,采用闭环 ID 控制,确保运动过程无定位误差,无论是在微小位移调整还是较大行程移动时,都能按照预设指令精准完成定位任务,为整个纳米定位系统的稳定运行提供坚实保障。
| 技术参数类别 | 具体指标 | 核心价值 |
|---|---|---|
| 位移行程 | 100μm / 200μm 两种规格 | 覆盖小范围微调与较大范围定位需求,单轴无干扰 |
| 分辨率 | 0.1nm | 实现超精细位置调整,满足亚纳米级定位要求 |
| 噪声水平 | 0.01nm | 低噪声运行,避免定位偏差积累,保障长期稳定性 |
| 驱动与控制 | 压电陶瓷驱动 + 闭环 ID 控制 | 响应快、无定位误差,支持 0-10V 电压控制 |
CZ.100 纳米定位器采用紧凑型结构设计,在满足各项性能指标前提下,尽可能缩小整体体积。参考同系列产品结构标准,其厚度可控制在较小范围,部分同类型定位台厚度小于 20mm。这种设计使得定位器在各类对空间要求严苛的场景中能轻松适配,如在一些集成化的光学检测设备内部,狭小的空间限制了大型定位器的安装,而 CZ.100 纳米定位器凭借其紧凑结构,能在有限空间内实现精准定位功能,有效避免因体积过大导致设备内部布局困难等问题,实现空间占用最小化,为设备的小型化、集成化设计提供便利。
产品紧凑化设计充分考虑到与其他设备集成适配需求,尤其适用于光学设备等空间受限场景。以显微镜应用为例,它可直接安装于显微镜载物台的指定位置,无需额外预留大量安装空间,在不改变显微镜原有结构布局基础上,实现对样本的纳米级定位操作。在半导体制造中的光刻设备中,也能与其他组件紧密集成,在有限的设备空间内,配合完成高精度的光刻对准等操作,提高设备整体运行效率,减少因设备间兼容性问题导致的调试成本与时间,提升系统集成的便捷性与稳定性。
CZ.100 纳米定位器的驱动基于压电陶瓷材料的特性。当压电陶瓷材料施加电压时,会产生逆压电效应,即材料发生形变,形变大小与施加电压成正比。这种形变极为微小,为实现纳米定位所需的位移,定位器内部采用机械放大结构,如杠杆机构或柔性铰链结构。通过机械放大结构,将压电陶瓷的微小形变转化为定位平台可测量、利用的直线位移,为整个定位动作提供动力来源,从而实现高精度的纳米级定位。
产品具备闭环反馈控制功能,通过集成传感器模块实现。传感器实时采集定位平台的位移数据,将其传输至配套控制器。以电容式传感器为例,它通过检测电容变化来精确测量定位平台的位移。控制器接收到传感器反馈数据后,与预设的目标位置进行对比计算,得出位置偏差。随后,依据闭环 ID 控制算法,自动调整施加在压电陶瓷上的电压,实时修正定位平台的位置误差,确保定位平台始终能精准地移动到目标位置,保障纳米定位器在复杂环境及长时间运行过程中,始终维持高定位精度。
在光学显微成像领域,CZ.100 纳米定位器可集成至共聚焦显微镜、原子力显微镜等设备中。在共聚焦显微镜应用时,它能够实现样品在纳米级别的精确定位。当研究人员需要对生物样本中特定细胞结构进行高分辨率成像时,通过 CZ.100 纳米定位器精准移动样品,可将目标结构精确置于显微镜视野中心位置,保证成像过程中样品位置的精准调节,满足超分辨显微镜对样品定位精度的严苛使用需求,帮助科研人员获取细胞内线粒体、内质网等微小细胞器清晰的亚细胞结构图像。
在半导体检测领域,CZ.100 纳米定位器主要用于晶圆或掩模版的微米级对齐操作。在半导体元件质量检测环节,需要对晶圆上微小的电路图案或掩模版上的图形进行精确检测。纳米定位器凭借自身高精度定位能力,将晶圆或掩模版精准定位到检测设备的指定位置,保障检测过程中目标对象的位置精度,使检测设备能够准确对半导体元件关键部位进行检测,为半导体元件的质量检测提供可靠的定位支持,确保检测结果的准确性,及时发现元件中可能存在的短路、断路、线宽偏差等缺陷。
在生物技术实验领域,CZ.100 纳米定位器应用于细胞操作或微注射等实验流程。在细胞微注射实验中,需要将极微量的物质如 DNA、RNA 或蛋白质等精确注入到单个细胞内。纳米定位器凭借其稳定的纳米级定位能力,能够精准固定细胞位置,避免在注射过程中细胞发生位移偏差。通过将细胞固定在操作位置,保证微注射针准确穿刺细胞并将物质注入细胞内指定区域,有效避免因细胞位移导致的注射失败,提高实验成功率,保障细胞操作类实验的顺利进行。
在科研仪器开发领域,CZ.100 纳米定位器可集成到光谱仪、干涉仪等科研仪器中,作为仪器的核心定位组件。在光谱仪中,它负责精准定位样品或光学元件位置,确保光线能够准确照射到样品特定位置,并收集到准确的光谱信息。在干涉仪中,纳米定位器用于精确调节干涉臂中反射镜或其他光学部件的位置,保证干涉条纹的稳定与准确,满足科研设备对高精度位移控制的需求,为科研人员获取准确的实验数据提供关键支撑,助力科研人员在材料分析、物理光学等领域开展深入研究。
| 应用领域 | 核心应用场景 | 产品核心价值体现 |
|---|---|---|
| 光学显微成像 | 共聚焦/原子力显微镜样品定位 | 满足超分辨成像要求,呈现清晰亚细胞结构图像 |
| 半导体检测 | 晶圆/掩模版微米级对齐与检测 | 保障检测精度,及时发现半导体元件缺陷 |
| 生物技术实验 | 细胞微注射、细胞位置固定 | 提高实验成功率,避免细胞位移导致操作失败 |
| 科研仪器开发 | 光谱仪、干涉仪核心定位组件 | 保障仪器数据准确性,支撑研研究 |
CZ.100 纳米定位器采用标准化接口设计,这种设计使得它在整个 Piezoconcept 产品体系中具备出色的模块化兼容特性。从硬件层面来看,定位器与品牌旗下的控制器、传感器模块等组件之间,能够通过标准化接口实现灵活组合。例如,搭配品牌特定型号控制器时,双方接口能够无缝对接,实现稳定的数据传输与指令交互,保证控制器对定位器精准的驱动控制。在搭配传感器模块时,传感器可实时采集定位器运行状态数据,将位移、速度等信息反馈给控制器,形成闭环控制回路,进一步提升定位准确性。用户可根据实际使用需求,选择不同功能模块进行搭配,满足在不同场景下对定位器功能多样化的要求,如在需要快速响应场景中,搭配高速响应控制器,在对定位精度要求景下,选用高精度传感器模块。
单轴的 CZ.100 纳米定位器在多轴系统搭建中具备良好扩展性,能够进行堆叠组合。通过特定的机械连接装置,可将多个 CZ.100 纳米定位器按照一定规则进行组合,实现 2 轴或 3 轴纳米定位系统的搭建。在搭建 2 轴系统时,可将两个定位器分别设置在相互垂直的方向,实现平面内 XY 方向的定位操作,适用于在二维平面内对目标对象进行精确定位的场景,如平面光学元件的检测与加工。在搭建 3 轴系统时,再增加一个定位器,实现 XYZ 三个方向的定位,满足复杂场景下多方向定位需求,如在三维结构的生物样品成像中,可通过 3 轴纳米定位系统,精确控制样品在空间中的位置,从不同角度获取样品图像,为研究提供全面的数据支持。
CZ.100 纳米定位器以 100/200μm 行程、0.1nm 分辨率、0.01nm 噪声水平为核心性能参数,通过压电陶瓷驱动与闭环反馈控制技术,实现高精度定位。紧凑型设计使其在保障性能前提下,体积小巧,易于集成至各类设备中,形成高精度、小体积的产品特性,在满足对定位精度有严苛要求的同时,适应多种空间受限的应用场景。
该产品凭借其高精度定位能力与良好的适配扩展性,可覆盖科研与工业多个领域对高精度定位的需求场景。在科研领域,为前沿科学研究提供关键的定位技术支持,助力科研人员获取更精准的实验数据,推动科研进展;在工业领域,能够提升生产制造与检测环节的精度与效率,保障产品质量。其模块化兼容与多轴组合特性,为不同领域用户提供灵活的应用方案选择,随着技术发展与应用场景拓展,具备广泛的应用潜力,有望在更多新兴领域发挥重要作用。