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Hellma CaF₂-Rundscheiben 是德国赫尔玛专为深紫外光学系统打造的高精度氟化钙单晶圆形镜片，依托193nm准分子激光级光学材质、<111>定向单晶生长工艺与超精密研磨技术，具备紫外高透过、光学稳定性强、应力极低、表面均匀性优异等核心特性，广泛应用于半导体光刻、激光医疗、光谱分析、精密光学检测等光学领域，是紫外光学元件的级产品。
| 技术项目 | 参数规格 |
| 产品型号 | CaF₂-Rundscheiben |
| 光学材质 | CaF₂ 193nm LD-A 单晶 |
| 晶体方向 | <111>定向结晶 |
| 镜片尺寸 | Φ28.0mm × 5.0mm 平行平面 |
| 表面质量 | 研磨级 Rq 2µm |
该镜片采用<111>定向单晶生长工艺，晶格排列高度规整，内部无杂质、无气泡、折射，在193nm深紫外波段保持超高透过率，满足光刻与激光系统的严苛光学要求。LD-A高纯级材质具备优异的激光损伤阈值，可抵御高能紫外激光长期照射，不易老化、不衰减，光学性能长期稳定。
双面平行平面研磨工艺确保表面粗糙度Rq 2µm，平面度与均匀性达到光学级标准，尺寸公差严格控制在±0.1mm，保证安装后的光路精准同轴。0.5mm防护倒角设计可有效防止边缘崩边、破损，提升镜片机械强度与装配安全性。
Hellma CaF₂紫外光学镜片集高纯度、高定向性、高精密尺寸于一体，符合半导体与科研级光学标准，是深紫外系统的核心基础元件。德国原厂精密加工与全流程检测，确保单片性能一致性与可靠性。其核心技术解决紫外光学传输、透射、稳定性等关键难题，可显著提升光学设备精度与使用寿命，是光刻、激光、科研仪器的关键光学部件。
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